質量流量控制器即MassFlowController（縮寫為MFC），不但具有質量流量計的功能，更重要的是，它能自動控制氣體流量，即用戶可根據需要進行流量設定，MFC自動地將流量恒定在設定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化，也不會使其偏離設定值。簡單地說，其就是一個穩(wěn)流裝置,是一個可以手動設定或與計算機聯(lián)接自動控制的氣體穩(wěn)流裝置。

　　質量流量控制器可以準確地測量和控制系統(tǒng)中的流量。然而，在流量控制器的上下游，沒有絕對的信心來確定流量是準確的。如果不采取任何對策，則不會將所需的確切流量傳遞給過程。隨著流量的最小化，系統(tǒng)組件（如管道、過濾器和閥門）的相對內部體積似乎增加了。這會影響系統(tǒng)的動態(tài)，因為響應時間會減慢，導致直接控制的損失。

　　在許多低流量流體控制系統(tǒng)中，為了控制低流量，最薄弱的環(huán)節(jié)通常不是質量流量傳感器。而是流體被氣體壓制，當氣體夾在液體流中時，它可能以溶解氣體或氣泡的形式出現(xiàn)。在這兩種情況下，它對平均質量流量沒有顯著影響。然而，氣泡傾向于破壞流動的穩(wěn)定性。通過快速準確的流量計可以監(jiān)測效果。這種物理效應發(fā)生在任何具有溶解氣體和下游壓降的低液體流量系統(tǒng)中，與測量原理或控制閥類型無關。