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熱式氣體流量計

簡要描述：熱式氣體流量計用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制。它們在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空燈多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應(yīng)用場合包括：電子工藝設(shè)備，如擴(kuò)散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器

產(chǎn)品型號：5911DD4
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
更新時間：2024-06-25
訪問量：1220

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詳細(xì)介紹

品牌	GRYLLS/格里爾斯	價格區(qū)間	面議
產(chǎn)品種類	差壓式	介質(zhì)分類	氣體
產(chǎn)地類別	進(jìn)口	應(yīng)用領(lǐng)域	醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,化工,石油,綜合

5911DD4熱式氣體流量計主要技術(shù)指標(biāo)

1	量程范圍	（0~5，10,20,30,50,100,200,300,500 ）SCCM 　?。?~1,2,3,5,10,50,100,200,500 3000） SLM
2	準(zhǔn)確度	±1%F.S ±0.5%F.S
3	線性	±0.5~1.5%F.S
4	重復(fù)精度	±0.2%F.S
5	響應(yīng)時間	電特性：10sec 氣特性：（1~4）sec
6	工作壓差	0.1~0.5MPa
7	耐壓	3MPa
8	工作環(huán)境溫度	0~70℃
9	數(shù)字量	RS485 MODBUS協(xié)議
10	模擬量	DC 0~5V ，4~20mA 可選
11	供電	DC +15V/24V 可選，流量計＜400mA，控制器＜600mA
12	電氣連接	DB15

5911DD4熱式氣體流量計優(yōu)勢：

其大的優(yōu)點是能夠直接地測量質(zhì)量流量，而其他的儀器只能測量體積流量V錐流量計是一種的差壓式流量計量裝置，它以的邊壁逐步收縮節(jié)流方式，一改傳統(tǒng)節(jié)流裝置的幾乎所有的缺點，是差壓流量計性成果St是雷諾數(shù)的函數(shù)，St=f（1/Re）質(zhì)量流量控制器的原理是什么？質(zhì)量流量控制器由流量傳感器、分流器通道、流量調(diào)節(jié)閥門和放大控制器等部分組成當(dāng)了解了以上三個在選擇質(zhì)量流量控制器需要關(guān)注的地方中會明白，好的質(zhì)量流量控制器不是單單只能進(jìn)行穩(wěn)定工作就可以的而是在穩(wěn)定工作的同時還能將事情做到接近完善的程度，只有這樣才能減小麻煩的發(fā)生率與出現(xiàn)情況的次數(shù)，也才能讓客戶進(jìn)行平穩(wěn)的收益與正常的工作流程不同類型的氣體用來沉積一個新的玻璃層如空氣、煤氣、氨氣等

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